超純氮?dú)猓ㄍǔV讣兌确浅8叩牡獨(dú)?,接近于無雜質(zhì)的理想狀態(tài))在許多應(yīng)用中需要極低的雜質(zhì)含量,特別是水分、氧氣、二氧化碳等痕量氣體的含量。超純氮?dú)獾臋z測要求通常包括以下指標(biāo):
純度 :體積分?jǐn)?shù)(ppm或ppb)要求,比如99.999% 或者更高,這表示每百萬體積的氮?dú)庵兄辉试S有極少的雜質(zhì)。
2. 水分含量 (H2O):通常要求在痕量水平,可能小于1 part per billion (ppb) 或者更低,即百萬分之一的體積比。
3. 氧氣含量 :由于氮?dú)馐侵饕墓I(yè)氣體,氧氣的殘留量(如O2≤0.001% 或 O2≤1 ppm)非常重要,以確保不會(huì)影響電子設(shè)備的真空環(huán)境或其他對氧氣敏感的應(yīng)用。
4. 其他雜質(zhì) :除了氧氣和水分,還可能檢查其他雜質(zhì),如氬氣(Ar)、二氧化碳(CO2)、氦(He)等稀有氣體,以及痕量有機(jī)物。
5. 氣體濕度 :根據(jù)GB/T 3864或者GB/5832.1,可能會(huì)用到電解法或其他技術(shù)來測量露點(diǎn),確保露點(diǎn)低到不會(huì)導(dǎo)致設(shè)備結(jié)露或腐蝕。
6. 氣體泄漏率 :為了確保系統(tǒng)的完整性,可能還會(huì)檢測氣體泄漏率,尤其是對于密封要求嚴(yán)格的設(shè)備。 檢測方法可能包括氣體分析儀(如光譜分析、熱導(dǎo)檢測器、電化學(xué)傳感器等)、質(zhì)譜分析、色譜法等,這些方法可以提供準(zhǔn)確的成分定量。 江蘇科海檢驗(yàn)有限公司這樣的第三方檢測中心會(huì)按照相關(guān)國際或國家標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行嚴(yán)格的測試,出具符合要求的檢測 。如果你需要具體的檢測規(guī)程或 的標(biāo)準(zhǔn),請查閱 的GB/T標(biāo)準(zhǔn)或者其他相關(guān)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。
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