深冷空分制氮是一種傳統(tǒng)的制氮方法，已有近幾十年的歷史。它是以空氣為原料，經(jīng)過壓縮、凈化，再利用熱交換使空氣液化成為液空。液空主要是液氧和液氮的混合物，利用液氧和液氮的沸點不同(在1大氣壓下，前者的沸點為-183℃，后者的為-196℃)，通過液空的精餾，使它們分離來獲得氮氣。

綜合設備、安裝及基建諸因素，3500Nm3/h以下的設備，相同規(guī)格的PSA裝置的投資規(guī)模要比深冷空分裝置低20%～50%。深冷空分制氮裝置宜于大規(guī)模工業(yè)制氮，而中、小規(guī)模制氮就顯得不經(jīng)濟。

如：放在杯子里的水，會因不斷蒸發(fā)變得愈來愈少。如果把純水放在一個密閉的容器里，并抽走上方的空氣。當水不斷蒸發(fā)時，水面上方汽相的壓力，即水的蒸汽所具有的壓力就不斷增加。但是，當溫度一定時，汽相壓力終將穩(wěn)定在一個固定的數(shù)值上，這時的汽相壓力稱為水在該溫度下的飽和蒸汽壓力。當汽相壓力的數(shù)值達到飽和蒸汽壓力的數(shù)值時，液相的水分子仍然不斷地氣化，汽相的水分子也不斷地冷凝成液體，只是由于水的氣化速度等于水蒸氣的冷凝速度，液體量才沒有減少，氣體量也沒有增加，液體和氣體達到動態(tài)平衡狀態(tài)