理化指標中較重要的是電導率和高錳酸鉀消耗量。電導率是純凈水的特征性指標，反映的是純凈水的純凈程度以及生產(chǎn)工藝的控制好壞。由于生活飲用水不經(jīng)過去離子純化的過程，因此是不考察此項指標的。而對于純凈水來說“純凈”是其基本的要求，金屬元素和微生物過高，都會導致電導率偏高。所以，電導率越小的水越純凈。

金屬元素指標在標準中規(guī)定了鉛、砷、銅的含量，鉛、砷要求不得超過0.1mg/L，其主要來源于受人類活動所影響的環(huán)境，包括土壤、河流的污染等等。鉛、砷為有毒有害元素，鉛可由呼吸道或消化道進入人體并蓄積在人體內(nèi)，當血液中含鉛量為0.6～0.8mg/L時就會損害內(nèi)臟，而砷的化合物會引起中毒，因此，它們的含量應該越小越好，而銅在標準中規(guī)定不得超過1.0mg/L，雖然銅不是有害元素，但也不是多多益善的物質(zhì)，對于純凈水來說，更是衡量其純凈程度的標志之一。

從學術(shù)角度講，純水又名高純水，是指化學純度的水，其主要應用在生物、化學化工、冶金、宇航、電力等領域，但其對水質(zhì)純度要求相當高，所以一般應用普遍的還是電子工業(yè)。例如電力系統(tǒng)所用的純水，要求各雜質(zhì)含量低達到“微克/升”級。

在高純水的國家標準為：GB1146.1-89至GB1146.11-89[168]，目前我國高純水的標準將電子級水分為五個級別：Ⅰ級、Ⅱ級、Ⅲ級、Ⅳ級和Ⅴ級，該標準是參照ASTM電子級標準而制定的。

高純水的水質(zhì)標準中所規(guī)定的各項指標的主要依據(jù)有：1.微電子工藝對水質(zhì)的要求；2.制水工藝的水平；3.檢測技術(shù)的現(xiàn)狀。

高純水不能作為飲用水的原因主要是，天然水中溶解的氣體主要有O2、CO2、SO2和少量的CH4、氡氣、氯氣等，在高純水的生產(chǎn)過程中，還必需去除這類的氣體。為了有效的去除雜質(zhì)，在生產(chǎn)高純水的過程中，加入了一些化學殺菌劑，如甲醛、雙氧水、次氯酸鈉等。