江蘇睢寧提拉式長晶爐回收 plc編程回收聯(lián)系電話
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為了配合di76．Zmm器件生產(chǎn)線的發(fā)展，我所研制了國內(nèi)臺15～30公斤的DL。78型單晶爐［‘］，并在該單晶爐上研究了48Omm硅單晶的控制工藝［‘］。在控制大直徑硅單晶的過程中，涉及的面比較廣，尤其是從我國原有1公斤、th3orum級的基礎(chǔ)上跳躍到12公斤、680mm硅單晶的拉制工藝，需要研究討論的問題很多，例如，熱場的設(shè)計、減壓工藝的設(shè)計與調(diào)整藍寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，　真空技術(shù)在冶金、化工、輕工、食品、醫(yī)藥等領(lǐng)域得到了十分廣泛的應(yīng)用，然而在這些領(lǐng)域大都存在塵埃對真空系統(tǒng)的危害問題。為保護真空系統(tǒng)或真空泵不受粉塵和固體顆粒污染和損壞，管路中需配置真空除塵器和真空過濾器。它們可保護真空閥門不被阻塞，避免閥板關(guān)閉不嚴造成漏氣，保護測量壓力的真空規(guī)管不受污損，防止泵受損而工作失常等，對真空設(shè)備的凈化和平穩(wěn)、持續(xù)工作均很重要。除塵機理及過程從氣體中捕集分離粒子的除塵機理，主要有以下幾個方面:、重力氣流中的塵?？梢砸揽恐亓ψ匀怀两担瑥臍饬髦羞M行分離。由于塵粒的沉降速度一般較小，這個機理只適用于粗大的塵粒、離心力利用機械力來捕集分離含塵氣流中的粉塵，離心力除塵裝置是其中有效的除塵裝置。它對粒徑較小塵粒的分離捕集非常有效。含塵氣流作圓周運動時，

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因此,避免提拉系統(tǒng)的晃動是單晶爐結(jié)構(gòu)設(shè)計的關(guān)鍵點之一。在生產(chǎn)實際中發(fā)現(xiàn),某型號單晶爐的提拉系統(tǒng)在工作轉(zhuǎn)速接近13~14r/min范圍時,提拉系統(tǒng)的軟軸會出現(xiàn)明顯的晃動,這個問題一直制約著晶體生長的質(zhì)量和生產(chǎn)效率的提高。以前雖然提出過很多的解決措施,但其效果均不明顯。本文擬采用有限元分析的方法,對單晶爐的提拉系統(tǒng)進行分析,找出引起提拉系統(tǒng)軟軸晃動