EDS可以提供元素的定性分析和定量分析，能夠準(zhǔn)確地檢測材料表面的元素種類和含量。通過分析元素分布情況，可以識別化學(xué)腐蝕、應(yīng)力腐蝕開裂等化學(xué)或物理作用導(dǎo)致的失效，進(jìn)一步確定失效機(jī)制。

SEM+EDS可以用于研究環(huán)境污染物質(zhì)對生物體（如魚類、昆蟲等）的毒害作用及其機(jī)制。通過觀察生物體在不同污染環(huán)境下的形貌變化和元素分布情況，可以深入探究環(huán)境污染物質(zhì)對生物體的毒害作用及其與環(huán)境因素的相互作用。

工藝優(yōu)化：SEM+EDS可以用于優(yōu)化航空航天領(lǐng)域的制造工藝。例如，對于航空器的制造過程，SEM可以觀察到焊接、釬焊等工藝的微觀結(jié)構(gòu)，而EDS可以分析焊接區(qū)域中的元素分布。這有助于優(yōu)化工藝參數(shù)和提高制造質(zhì)量。