湖州吳興整流柜回收 湖州吳興藍(lán)寶石單晶爐回收
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工作原理如下：取出晶棒后，將硅料加入加料坩堝62，蓋上外部加料器6的上蓋63，將外部加料器6真空抽到合適壓力值時(shí)打開旋閥64，硅料落入外部化料器7中并在外部化料器7中被熔化，熔化后的硅料流入主爐室坩堝21，當(dāng)外部化料器7中的硅料加完后，再關(guān)閉旋閥64，把外部加料器6充常壓，打開外部加料器6的上蓋63繼續(xù)加料，如此循環(huán)，進(jìn)而完成外部加料、化料，本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)連續(xù)拉晶，選用合適的主爐室坩堝21可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)拉制五六根晶棒，可大幅減少冷卻、拆爐、裝爐的時(shí)間，進(jìn)而提高生產(chǎn)效率；本發(fā)明可通過加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置將外部加料器6移出工作位并旋開，進(jìn)而方便拆爐和清理，本發(fā)明的加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置配上工裝還可以吊裝主爐室2的零部件；本發(fā)明可通過副爐室升降驅(qū)動(dòng)裝置12和副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置13驅(qū)動(dòng)副爐室3移動(dòng)，藍(lán)寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，進(jìn)一步提供了一種加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置的具體結(jié)構(gòu)，所述加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)、旋轉(zhuǎn)絲桿、旋轉(zhuǎn)套和固定座，所述旋轉(zhuǎn)套鉸接在拖板上，所述旋轉(zhuǎn)絲桿可旋轉(zhuǎn)地支承在固定座上，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)安裝在固定座上，所述旋轉(zhuǎn)絲桿的一端部和旋轉(zhuǎn)電機(jī)的輸出軸相連接，所述旋轉(zhuǎn)絲桿的另一端部和旋轉(zhuǎn)套通過螺紋連接，所述加料器旋臂鉸接在拖板上，以便通過旋轉(zhuǎn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)絲桿在旋轉(zhuǎn)套內(nèi)旋進(jìn)旋出，使得固定座產(chǎn)生位移，并使固定座帶動(dòng)加料器旋臂旋轉(zhuǎn)。進(jìn)一步為了方便副爐室移動(dòng)到取晶位，并方便副爐室的拆解、清理，連續(xù)拉晶單晶爐還包括副爐室升降驅(qū)動(dòng)裝置和副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，所述所述副爐室通過副爐室旋臂連接在副爐室升降驅(qū)動(dòng)裝置上，以便通過副爐室升降驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)副爐室旋臂升降，并通過副爐室旋臂帶動(dòng)副爐室升降，所述副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置連接在副爐室升降驅(qū)動(dòng)裝置和副爐室旋臂之間，以便使得副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置隨副爐室旋臂一起升降，并通過副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)副爐室旋臂旋轉(zhuǎn)，副爐室旋臂又帶動(dòng)副爐室旋轉(zhuǎn)。

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大直徑硅單晶的制備與數(shù)值分析\大直徑硅單晶是微電子工業(yè)的基礎(chǔ)材料,廣泛應(yīng)用于集成電路備件和硅片制造領(lǐng)域,是現(xiàn)今信息社會(huì)的基石。根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備材料產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)(SEMI)的報(bào)告,大直徑硅單晶的需求依然旺盛,450mm硅單晶要繼續(xù)開發(fā)研究。當(dāng)前主流集成電路設(shè)備用部件急需400mm硅單晶并提出低成本的要求,開發(fā)400mm硅單晶和研究晶體制備的工藝過程,無疑具有重要的理論意義和現(xiàn)實(shí)需求。同時(shí),開發(fā)下一代450mm集成電路用硅晶體、研究外加磁場對改善晶體質(zhì)量的作用,對于我國未來制造450mm硅片具有重要的戰(zhàn)略意義。