真空鍍膜機(jī)通常由真空室、蒸發(fā)源、濺射源、控制系統(tǒng)等組成。在操作過程中，將待處理物體放入真空室中，并將真空室抽成高真空狀態(tài)。然后，通過加熱蒸發(fā)源或施加電場等方式，將金屬或其他材料蒸發(fā)或濺射到待處理物體的表面。同時，通過控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)溫度、壓力等參數(shù)，以控制薄膜的厚度、均勻性等性能。

真空鍍膜機(jī)通常由真空腔體、加熱系統(tǒng)、蒸發(fā)源、濺射源、離子源、氣體控制系統(tǒng)和控制系統(tǒng)等組成。在真空腔體中，通過抽氣系統(tǒng)將氣體抽走，形成高真空環(huán)境。加熱系統(tǒng)用于提供蒸發(fā)源或濺射源所需的熱能，使材料蒸發(fā)或濺射到

氣體控制系統(tǒng)用于控制真空腔體內(nèi)的氣體壓力和組成，以調(diào)節(jié)薄膜的性質(zhì)?？刂葡到y(tǒng)則是用于對各個部件進(jìn)行控制和監(jiān)控，以實現(xiàn)對薄膜制備過程的控制。

真空鍍膜機(jī)廣泛應(yīng)用于光學(xué)、電子、材料等領(lǐng)域，用于制備反射鏡、透鏡、光學(xué)濾波器、導(dǎo)電膜等功能薄膜。