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結(jié)合單晶爐提拉系統(tǒng)實際結(jié)構(gòu),進行了系統(tǒng)UG三維實體建模、動平衡數(shù)學(xué)建模、計算以及提拉系統(tǒng)動平衡仿真配平工作。系統(tǒng)動平衡分析、計算的結(jié)果明,提拉系統(tǒng)配平效果即動平衡效果是比較好的。隨后,針對某型號單晶爐提拉系統(tǒng)的實際結(jié)構(gòu),進行了提拉系統(tǒng)理論靜不平衡量的大小、相位計算,三維軟件UG建模計算和該設(shè)備“以動測靜”法的平衡實驗
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因此,在向單晶爐內(nèi)不斷充入 的同時,還用真空泵將混合氣體排出爐外;在排氣時,混合氣體流經(jīng) 爐中的加熱器、坩堝支持器等處,后經(jīng)過爐下端的排氣口排出。上述圖1的單晶爐的不足之處在于單晶爐內(nèi)空間較大,尤其是坩堝 支持器下方的空間較大,導(dǎo)致坩堝支持器下方的混合氣體不能及時排出, 熱能消耗量較大;另外,現(xiàn)有技術(shù)中,從輸入管向爐內(nèi)充入時, 充氣氣壓為1. 3x 103pa,流量為40L/min,因此其消耗量大,生產(chǎn) 成本較高。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,直拉法,也叫切克勞斯基(J.Czochralski)方法。此法早在1917年由切克勞斯基建立的一種晶體生長方法,用直拉法生長單晶的設(shè)備和工藝比較簡單,容易實現(xiàn)自動控制,生產(chǎn),易于制備大直徑單晶,容易控制單晶中雜質(zhì)濃度,可以制備低電阻率單晶。據(jù)統(tǒng)計,世界上硅單晶的產(chǎn)量中70%~80%是用直拉法生產(chǎn)的。