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氦質譜檢漏的優(yōu)點
精度高,氦質譜檢漏可以達到 5E-12 mbarL/s 甚至更高的精度,可以通過標準漏孔進行計量,并且重復性非常好。
快速,盡快定位并修復漏點可以節(jié)省時間并減少報廢。氦質譜檢漏能夠快速得到結果,響應時間一般僅需幾秒至幾十秒。
可定位漏點,噴氦法,吸槍法等比較常見的氦質譜檢漏方法可以確定泄漏的位置,便于后期處理漏孔或改進工藝。
不受溫度、產(chǎn)品形變、內(nèi)表面放氣等的影響,不會弄濕或污染工件。