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采用了上述技術(shù)方案后,本發(fā)明具有以下有益效果:、取出晶棒后,將硅料加入加料坩堝,蓋上外部加料器的上蓋,將外部加料器真空抽到合適壓力值時打開旋閥,硅料落入外部化料器中并在外部化料器中被熔化,熔化后的硅料流入主爐室坩堝,當外部化料器中的硅料加完后,再關(guān)閉旋閥,把外部加料器充常壓,打開外部加料器的上蓋繼續(xù)加料,如此循環(huán),進而完成外部加料、化料,本發(fā)明可實現(xiàn)連續(xù)拉晶,選用合適的主爐室坩堝可以實現(xiàn)連續(xù)拉制五六根晶棒,可大幅減少冷卻、拆爐、裝爐的時間,進而提高生產(chǎn)效率;、分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,工業(yè)爐:分為電爐和燃燒爐(狹義的工業(yè)爐指燃燒爐)2. 主要產(chǎn)品七大類:電阻爐、感應爐、真空爐、電子束爐、熱處理(或熔煉)機組、熱處理輔助設備、燃燒爐三. 電阻爐:三大部件:加熱器、爐襯、耐構(gòu)件 1. 分為周期式及連續(xù)式兩大類 2. 周期式爐的特征:A. 爐料同時加入同時取出 B. 加熱時爐料基本不動(特殊情況除外:如滾筒爐,輥底爐) C. 工作區(qū)內(nèi)力求溫度均勻。