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從除塵區(qū)域經(jīng)上盤(pán)12 個(gè)圓孔進(jìn)入排氣區(qū)域(排氣筒) 的棄塵氣流終由排氣口排出除塵器。上面主要論述了這種混合式除塵器的除塵機(jī)理和過(guò)程。值得提出的是，出于某些因素的考慮例如體積小、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、經(jīng)濟(jì)性等等，該除塵器略去了排塵區(qū)域。所以，應(yīng)該經(jīng)常性拆卸進(jìn)行清灰工作。下面給出這種除塵器的主要技術(shù)參數(shù)：圓柱容器高度H = 900mm; 內(nèi)徑= á 270mm; 進(jìn)氣口軸線偏離圓柱容器線e= 85mm; 進(jìn)氣口與排氣口通徑均為á 89mm。內(nèi)、外層金屬網(wǎng)均采用50 目的不銹鋼絲網(wǎng)。順便提一下，在很多情況下，用戶拆去全部金屬桿和金屬網(wǎng)，僅以離心力作為主要除塵機(jī)理便滿足了單晶爐真空系統(tǒng)的除塵要求。

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單晶爐構(gòu)成編輯=提拉頭：主要由安裝盤(pán) 減速機(jī) 籽晶腔 劃線環(huán) 電機(jī) 磁流體 籽晶稱(chēng)重頭 軟波紋管等其他部件組成/副室：主要是副室筒以及上下法蘭組成/ 爐蓋：副室連接法蘭，翻板閥，觀察窗 抽真空管道 組成/爐筒：包括取光孔下?tīng)t筒：包括抽真空管道/底座機(jī)架：全鑄鐵機(jī)架和底座/坩堝下傳動(dòng)裝置：主要由磁流體 電機(jī) 坩堝支撐軸 減速機(jī) 軟波紋管 立柱 上下傳動(dòng)支撐架 導(dǎo)軌 等部件組成/分水器已經(jīng)水路布置：包括分水器，進(jìn)水水管，若干膠管 水管卡套等/管道布置：質(zhì)量流量計(jì) 3根以上的柔性管 不銹鋼管 3個(gè)壓力探測(cè)器 高密封性卡套 等部件/真空泵以及真空除塵裝置：油壓真空泵 水環(huán)真空泵 過(guò)濾器 真空管道 硬波紋管等/電源以及電控柜：電源柜 濾波柜 控制柜 以及連接線分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，單晶爐晶體提拉系統(tǒng)平衡研究\提拉法單晶爐是晶體生長(zhǎng)設(shè)備中重要的產(chǎn)品系列之一,用此方法單晶生長(zhǎng)速度,晶體尺寸,晶體質(zhì)量,易實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制,因此獲得了廣泛的應(yīng)用。而此方法生產(chǎn)單晶的主要因素取決于單晶提拉過(guò)程的平穩(wěn)性,因此提拉系統(tǒng)良好的平穩(wěn)性是提高單晶爐設(shè)備性能和生產(chǎn)效率的關(guān)鍵。以良好的平穩(wěn)性為目標(biāo),本文對(duì)單晶爐提拉系統(tǒng)進(jìn)行了系統(tǒng)平衡方面的研究。本文介紹了單晶爐提拉系統(tǒng)的功能、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)以及工作原理；討論了單晶爐提拉系統(tǒng)靜平衡與動(dòng)平衡的原理和方法,分析、研究了提拉系統(tǒng)完全平衡的條件,以及提拉系統(tǒng)不平衡校正的方法。