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德國(guó)CGS GmbH/德國(guó)Crystal Growing Systems (CGS) GmbH成立于1999年8月，其前身為德國(guó)萊寶晶體生長(zhǎng)部。目前其產(chǎn)品已經(jīng)覆蓋生產(chǎn)6”到16”單晶硅棒的設(shè)備，設(shè)備主要有EKZ2700、 EKZ 3500/200、EKZ 3000/300，EKZ 3000/400型，投料量分別為60kg、150kg、300kg，400kg。EKZ-2700 EKZ3500/200 EKZ3000/300 EKZ3000/40 德國(guó)CGS單晶爐圖（來(lái)自產(chǎn)品樣本）近年來(lái)，國(guó)產(chǎn)單晶硅生長(zhǎng)爐設(shè)備行業(yè)發(fā)展迅速，已經(jīng)占據(jù)絕大部分的份額。，國(guó)內(nèi)單晶硅生長(zhǎng)爐設(shè)備領(lǐng)域技術(shù)進(jìn)步明顯，逐步解決了單晶硅生長(zhǎng)爐的關(guān)鍵技術(shù)難題，可以滿(mǎn)足太陽(yáng)能光伏晶體硅制備的需求。

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所述氣流導(dǎo)向裝置20的中軸孔2-1與該爐的石墨中軸21活 動(dòng)密封連接，以防止因該中軸孔2-1與石墨中軸21之間的間隙而漏氣，影 響排氣效果，氣流導(dǎo)向裝置20的電極孔2-2分別與該爐的電極柱15密封連 接，以防止因該電極孔2-2與電極柱15之間的間隙而漏氣，影響排氣效果。所述氣流導(dǎo)向裝置20的上端部2-4的外壁與該爐的保溫 筒17密封連接，以防止因氣流導(dǎo)向裝置20的上端部2-4的外壁與該爐的 保溫筒17之間的間隙而漏氣，影響排氣效果。所述氣流導(dǎo)向裝置20各通氣孔2-3與該爐的排氣口 13通過(guò)通 氣管19相連通，以提高排氣效果。所述氣流導(dǎo)向裝置20由石墨制成，石墨具有強(qiáng)度高、抗熱震性好、耐 高溫、抗氧化、電阻系數(shù)小、耐腐蝕、易于精密機(jī)加工等優(yōu)點(diǎn)。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，基于ANSYS軟軸型單晶爐提拉系統(tǒng)晃動(dòng)分析\人工晶體是太陽(yáng)能光伏發(fā)電產(chǎn)業(yè)和半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展所需的核心原材料,單晶爐是制造人工晶體的設(shè)備,目前的單晶爐大部分采用軟軸提拉系統(tǒng)。由于受到液/固相變規(guī)律的制約,單晶爐在實(shí)際工作中要求提拉機(jī)構(gòu)既要做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),又要做上升運(yùn)動(dòng),同時(shí)還要保持速度穩(wěn)定,對(duì)中性好,不能出現(xiàn)蠕動(dòng)和擺動(dòng)。提拉系統(tǒng)的晃動(dòng)會(huì)引起生長(zhǎng)瞬間微觀擴(kuò)散層的變化,造成有效分凝系數(shù)的變動(dòng),導(dǎo)致微觀摻雜劑濃度分布的徑向不均勻,引起對(duì)流情況不穩(wěn)定,導(dǎo)致生長(zhǎng)時(shí)固液界面過(guò)冷度的變化,為枝晶生長(zhǎng)提供條件[1],會(huì)嚴(yán)重地影響單晶體的內(nèi)在品質(zhì)。