由于半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)過程十分復(fù)雜,任何一個(gè)環(huán)節(jié)出現(xiàn)錯(cuò)誤都可能導(dǎo)致大量產(chǎn)品質(zhì)量不合格,甚至對(duì)終的應(yīng)用產(chǎn)品的性能產(chǎn)生重大影響。因此,測試在半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中具有非常重要的地位,貫穿于半導(dǎo)體產(chǎn)品的設(shè)計(jì)、制造、包裝和應(yīng)用的整個(gè)過程中。
探針的選用
(1)材料:選擇材質(zhì)通常為316不銹鋼、金屬玻璃、石英玻璃、硅、玻璃鋼等。不同材料的探針具有不同的化學(xué)惰性和機(jī)械性能,對(duì)探測的液體和氣體有不同的適應(yīng)性。
(2)形狀:選擇探針的形狀應(yīng)該根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求進(jìn)行選擇,通常探針的形狀為直棒狀、U形、Z形等。考慮到實(shí)驗(yàn)的靈敏度問題,在選用探針時(shí)與被測物相匹配。
(3)長度:探針的長度是下降液面幅度的關(guān)鍵因素。為獲得準(zhǔn)確的下降水平,要根據(jù)實(shí)際測量需求選擇合適的長度。
(4)直徑:探針的粗細(xì)通常采用0.5mm至5mm之間。過粗的探針會(huì)影響測量的靈敏度,過細(xì)的探針則可能會(huì)導(dǎo)致探針的折斷。
(5)表面處理:在實(shí)驗(yàn)中,探針處于探測的介質(zhì)中,探針的表面形態(tài)和性質(zhì)會(huì)直接影響到測量結(jié)果。因此,探針的表面要求經(jīng)過光潔處理和表面處理。
探針的要求
(1)質(zhì)量問題:在使用過程中應(yīng)定期進(jìn)行質(zhì)量檢查。探針的質(zhì)量差會(huì)導(dǎo)致測量誤差增大,嚴(yán)重時(shí)可能會(huì)損壞實(shí)驗(yàn)設(shè)備。
(2)加工工藝問題:在探針的制作過程中,要探針的形狀、尺寸的與穩(wěn)定。
(3)使用注意事項(xiàng):避免在測量過程中引入空氣,勿使用有陷進(jìn)、連續(xù)的探針以免擾動(dòng)測量,對(duì)于使用多個(gè)探針進(jìn)行測量的情況要確保探針之間的長度和間距足夠。
(4)存儲(chǔ)和保養(yǎng)問題:盡可能地存儲(chǔ)環(huán)境無除塵、避光性好;探針表面不能有刮傷等損壞,使用前應(yīng)清洗干凈且消毒處理。