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因此，在向單晶爐內(nèi)不斷充入 的同時，還用真空泵將混合氣體排出爐外；在排氣時，混合氣體流經(jīng) 爐中的加熱器、坩堝支持器等處，后經(jīng)過爐下端的排氣口排出。上述圖1的單晶爐的不足之處在于單晶爐內(nèi)空間較大，尤其是坩堝 支持器下方的空間較大，導(dǎo)致坩堝支持器下方的混合氣體不能及時排出， 熱能消耗量較大；另外，現(xiàn)有技術(shù)中，從輸入管向爐內(nèi)充入時， 充氣氣壓為1. 3x 103pa，流量為40L/min,因此其消耗量大，生產(chǎn) 成本較高。

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