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研究所國內(nèi)以西安理工大學(xué)的晶體生長設(shè)備研究所為代表,自61年起開始生產(chǎn)晶體生長設(shè)備。主要產(chǎn)品有TDR-62B、TDR-70B、TDR-80。上虞晶盛機(jī)電工程有限是國內(nèi)單晶硅生長爐行業(yè)的后起之秀,自主研發(fā)了真正的全自動控制系統(tǒng),產(chǎn)品迅速了IC級硅材料行業(yè)和太陽能行業(yè),主要產(chǎn)品有TDR80A-ZJS、TDR80B-ZJS、TDR80C-ZJS、TDR8-ZJS、TDR9-ZJS、TDR112A-ZJS。
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