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生長(zhǎng)Φ8“直拉硅單晶Φ8”熱場(chǎng)研究及數(shù)值模擬\隨著科學(xué)的飛速發(fā)展,出于提高生產(chǎn)率、降低成本的目的,器件廠家隨著生產(chǎn)規(guī)模的擴(kuò)大逐步要求增大硅片直徑。硅單晶直徑增大后,大熔硅體積、嚴(yán)重的熱對(duì)流使單晶氧含量增大。晶體直徑的增大也使結(jié)晶潛熱的散發(fā)更加困難,結(jié)晶速率難以提高。為了解決這兩個(gè)問題,本文在國(guó)產(chǎn)TDR-80單晶爐的基礎(chǔ)上,對(duì)熱場(chǎng)進(jìn)行了局部改造,施加了新型加強(qiáng)復(fù)合式熱屏。有限元法是一種能求得許多工程問題近似解的數(shù)值分析方法。由于拉單晶過程中投料量較大,爐體結(jié)構(gòu)復(fù)雜、造價(jià)昂貴,所以拉晶實(shí)驗(yàn)成本太高。藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐回收,多晶硅鑄錠爐回收,提拉式長(zhǎng)晶爐回收,多晶長(zhǎng)晶爐回收,臥式長(zhǎng)晶爐回收,拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收,真空泵回收,真空流量計(jì)回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,以上所述的具體實(shí)施例,對(duì)本發(fā)明解決的技術(shù)問題、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說明,所應(yīng)理解的是,以上所述僅為本發(fā)明的具體實(shí)施例而已,并不用于限制本發(fā)明,凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi),所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。

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除塵機(jī)理示、擴(kuò)散當(dāng)含塵氣流中的粉塵顆粒粒徑小于1Lm 以下,特別小于0.1Lm 時(shí),這些顆粒在隨氣流運(yùn)動(dòng)時(shí)不再沿著氣體流線繞流捕集物,因而也再不能遵循慣性碰撞或接觸阻留的機(jī)理被捕集物所捕集分離,而另一捕集機(jī)理——擴(kuò)散在起作用。由于氣體分子之間的熱運(yùn)動(dòng)而產(chǎn)生的不規(guī)則運(yùn)動(dòng),使氣體分子之間的熱運(yùn)動(dòng)而產(chǎn)生的不規(guī)則運(yùn)動(dòng),使氣體分子轟擊著粉塵顆粒而使顆粒作擴(kuò)散,可以使粉塵顆粒均勻地分布于整個(gè)氣體空間。真空技術(shù)網(wǎng)(認(rèn)為如果有一物體置于氣體之中,一些超微顆粒通過擴(kuò)散而沉降在這物體的表面上,從而使這些超微顆粒從氣體中捕集分離、靜電力懸浮在氣流中的塵粒,如帶有一定的電荷,可以通過靜電力使它從氣流中分離。由于自然狀態(tài)下,塵粒的荷電量很小,因此,要得到較好的除塵效果,設(shè)置的高壓電場(chǎng),使所有的塵粒都充分荷電。凝聚凝聚作用不是一種直接的除塵機(jī)理。通過超聲波、蒸汽凝結(jié)、加濕等凝聚作用,可以使微小粒子凝聚增大,然后再用一般的除塵方法去除。我們?cè)O(shè)計(jì)除塵器時(shí)要根據(jù)不同的具體情況,考慮一定的需要,采用某種除塵機(jī)理或者是幾種除塵機(jī)理的綜合運(yùn)用。表1 列出幾種除塵機(jī)理的除塵情況供為參考。