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單晶硅生長爐原理簡介單晶硅生長爐的特點\單晶硅生長爐是通過直拉法生產單晶硅的制造設備。主要由主機、加熱電源和計算機控制系統(tǒng)三大部分組成。1、主機部分:機架,雙立柱\雙層水冷式結構爐體\水冷式閥座\晶體提升及旋轉機構\坩堝提升及旋轉機構\系統(tǒng)\真空系統(tǒng)及自動爐壓檢測控制\水冷系統(tǒng)及多種安全保障裝置\留有二次加料口2、加熱器電源:全水冷電源裝置采用專利電源或原裝進口IG及超快恢復二極管等功率器件。配以高頻變壓器,構成新一代高頻開關電源。采用移相全橋軟開關(ZVS)及CPU控制技術,提高了電能轉換效率,不需要功率因數(shù)補償裝置。3、計算機控制系統(tǒng):采用PLC和上位工業(yè)平板電腦PC機,配備大屏幕觸摸式HMI人機界面、高像素CCD測徑 ADC系統(tǒng)和具有知識產權的“全自動Cz法晶體生長SCADA監(jiān)控系統(tǒng)”,可實現(xiàn)從抽真空—檢漏—爐壓控制—熔料—穩(wěn)定—溶接—引晶—放肩—轉肩—等徑—收尾—停爐全過程自動控制。
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流量計的在此用途10.熱電堆的作用原理輸入輸出(好壞如何檢測)11.紅外測溫儀作用原理輸入輸出包括依兒根(好壞如何檢測)12.各密封處的檢測方式13.電動球閥的原理作用原理輸入輸出(好壞如何檢測)14.各水管的來去向15.對中等的調節(jié)機構了解各部件的連線方式以及去向///三部分爐體(下部)1.水壓表的作用原理輸入輸出(好壞如何檢測)2.電機作用原理輸入輸出(好壞如何檢測)3.編碼器,減速器,離合器作用原理輸入輸出(好壞如何檢測)4.手動機構作用原理輸入輸出(好壞如何檢測)分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,基于ANSYS軟軸型單晶爐提拉系統(tǒng)晃動分析\人工晶體是太陽能光伏發(fā)電產業(yè)和半導體行業(yè)發(fā)展所需的核心原材料,單晶爐是制造人工晶體的設備,目前的單晶爐大部分采用軟軸提拉系統(tǒng)。由于受到液/固相變規(guī)律的制約,單晶爐在實際工作中要求提拉機構既要做旋轉運動,又要做上升運動,同時還要保持速度穩(wěn)定,對中性好,不能出現(xiàn)蠕動和擺動。提拉系統(tǒng)的晃動會引起生長瞬間微觀擴散層的變化,造成有效分凝系數(shù)的變動,導致微觀摻雜劑濃度分布的徑向不均勻,引起對流情況不穩(wěn)定,導致生長時固液界面過冷度的變化,為枝晶生長提供條件[1],會嚴重地影響單晶體的內在品質。