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更新時(shí)間:2025-09-28 [舉報(bào)]
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專利文獻(xiàn)CN1205362C公開了 一種直拉硅單晶爐熱場(chǎng)的氣流控制方 法及裝置,其包括在單晶爐晶體生長(zhǎng)室內(nèi)的石墨加熱器和保溫筒間裝有密 封導(dǎo)氣裝置,使含有一氧化硅的氣體的氣流經(jīng)密封導(dǎo)氣裝置的導(dǎo)氣管 及排氣口,在真空泵的作用下,排出爐外。密封導(dǎo)氣管裝置由導(dǎo)氣管、底 座、密封環(huán)、排氣口所組成,安裝在石墨加熱器和保溫筒之間。上述現(xiàn)有技術(shù)的不足之處在于單晶爐的坩堝支持器下方的混合氣體 不能有效的排出,從而使混合氣體中的一氧化硅對(duì)加熱器和坩堝進(jìn)行腐蝕, 影響單晶爐的使用壽命。且其向爐內(nèi)充入時(shí)的充氣氣壓在1. 3xi0a 以上,導(dǎo)致其流量較大,故而消耗量大,生產(chǎn)成本較高。藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐回收,多晶硅鑄錠爐回收,提拉式長(zhǎng)晶爐回收,多晶長(zhǎng)晶爐回收,臥式長(zhǎng)晶爐回收,拉式單晶爐、收購(gòu)直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收,真空泵回收,真空流量計(jì)回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,具體實(shí)施方式、本實(shí)施例的直拉式單晶生長(zhǎng)爐包括輸入管12、與氬 氣輸入管12相連通的環(huán)形氣體分布器11;其特征在于經(jīng)輸入管12 輸入的氣壓為0. 8 x 10a0. 9 x 10a,流量為30L/min。還包括設(shè)于該爐的坩堝支持器14下方和該爐底部的排氣口 13之間 的碗形的氣流導(dǎo)向裝置20;其包括設(shè)于氣流導(dǎo)向裝置20底部的中軸 孔2-l、設(shè)于所述中軸孔2-1兩側(cè)的一對(duì)電極孔2-2、以及設(shè)于所述中軸孔 2-1兩側(cè)并與該爐的排氣口 13相對(duì)的通氣孔2-3;該爐的石墨中軸21穿過(guò)所述氣流導(dǎo)向裝置20的中軸孔2-1,該爐的一對(duì)電極柱15分別穿過(guò)所述電 極孔2-2,該爐的排氣口 13與氣流導(dǎo)向裝置20的各通氣孔2-3相連通,氣 流導(dǎo)向裝置20的上端部2-4設(shè)于該爐的保溫筒17與發(fā)熱體16之間。
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揚(yáng)州邗江真空泵回收 揚(yáng)州邗江單晶爐回收結(jié)構(gòu)類似傳送帶式爐)  D. 連續(xù)式轉(zhuǎn)筒爐   E. 輥底爐(料盤在輥?zhàn)由线\(yùn)動(dòng))   F. 轉(zhuǎn)底爐,中頻電爐設(shè)備主要應(yīng)用領(lǐng)域: 1、機(jī)床導(dǎo)軌的淬火處理; 2、煤礦用截齒的焊接; 3、礦山用一字釬頭和梅花釬頭的焊接; 4、直徑30以下螺栓的熱變形; 5、直徑30以下的螺母的熱變形; 6、金屬粉末重熔; 7、直徑300以下鏈輪的熱處理; 8、直徑80以下軸的淬火處理; 9、直徑80以下工件的橫截面處理; 10、各種手工工具的淬火處理(錘子,斧頭,管鉗,斷線鉗)
標(biāo)簽:單晶爐回收
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