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所述加料器升降驅動裝置包括升降絲桿91、拖板92和絲桿旋轉驅動裝置,底座1上設置有立柱10,所述升降絲桿91可旋轉地支承在立柱10上,所述拖板92通過螺紋連接在升降絲桿91上,所述加料器旋臂8連接在拖板92上,所述升降絲桿91連接在絲桿旋轉驅動裝置上,以便通過絲桿旋轉驅動裝置驅動升降絲桿91旋轉,進而將升降絲桿91的旋轉運動轉換為加料器旋臂8的升降運動。具體地,所述絲桿旋轉驅動裝置包括升降電機93和減速機94,所述減速機94連接在升降電機93的輸出軸上,所述升降絲桿91連接在減速機94的輸出軸上。
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全自動控制系統(tǒng)采用模塊化設計,維護方便,可靠性高,抗干擾性好。雙攝像頭實時采集晶體直徑信息。液面測溫確保下籽晶溫度和可重復性。爐內(nèi)溫度或加熱功率控制方式可選,保控溫精度。質(zhì)量流量計控制流量。真空計結合電動蝶閥實時控制爐內(nèi)真空度。上稱重傳感器用于晶棒直徑的輔助控制。伺服電機和步進電機的混合使用,即可滿足轉動所需的扭矩,又可實現(xiàn)轉速的控制。質(zhì)量流量計控制流量。自主產(chǎn)權的控制軟件采用視窗平臺,操作方便簡潔直觀。多種曲線和數(shù)據(jù)交叉分析工具提供了工藝實時監(jiān)控的平臺。完整的工藝設定界面使計算機可以自動完成幾乎所有的工藝過程。加熱電源采用綠色縱向12脈沖直流電源。比傳統(tǒng)直流電源節(jié)能近15%。特殊的溫場設計使晶體提拉速度提高20-30%。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,半導體級直拉法的工藝控制\進入21世紀以來,隨著新興產(chǎn)業(yè)的科技創(chuàng)新,半導體行業(yè)得到了的發(fā)展。半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅猛,尤其近幾年,大力發(fā)展半導體產(chǎn)業(yè),縮短該行業(yè)與世界水平的差距。目前雖然有許多新興材料來替代硅材料,但未來幾年可以預見,硅材料由于其成熟的技術品質(zhì)和穩(wěn)定的物理化學性質(zhì),將會在相當長的一段時間里是主流材料。硅單晶作為主要材料,應用的領域也是相當廣泛的。硅單晶是由多晶硅原料經(jīng)過物理變化,讓硅原子按照人為設定的方向進行生長,終形成的。一般會采用直拉法進行制備。晶圓的直徑越大,集成電路制造的成本將會越低,因此要求作為材料的硅單晶的直徑也要相應的增大。這里面涉及到了一系列問題。這篇論文主要討論的是通過對熱場的設計,工藝的過程控制,減少位錯的產(chǎn)生,以及通過化學腐蝕對位錯進行檢測的相關問題。