數(shù)字絕壓傳感器是一種能夠測量相對于真空的壓力值的傳感器,其輸出信號以數(shù)字形式表示,便于與微控制器、計算機等數(shù)字設(shè)備直接接口。絕壓傳感器與相對壓力傳感器(如表壓傳感器)不同,后者測量的是相對于環(huán)境大氣壓的壓力值。在需要準確測量和控制真空環(huán)境或高壓環(huán)境中的壓力值時,數(shù)字絕壓傳感器是理想的選擇。
數(shù)字絕壓傳感器通?;谖C電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù),使用硅膜作為敏感元件。當外部壓力作用于硅膜上時,硅膜的形變會導致其電容或電阻發(fā)生變化,這種變化被轉(zhuǎn)換為電信號,并通過內(nèi)置的信號處理電路轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號輸出。信號處理電路還可能包括溫度補償、線性化和校準功能,以提高傳感器的精度和穩(wěn)定性
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