廈門(mén)光刻膠  美國(guó)光刻膠 

• ?耐腐蝕性?：具有耐干腐蝕特性（同類(lèi)產(chǎn)品ZEP547A參數(shù)參考）
  

• ?分辨率?：作為電子束膠通?？蛇_(dá)納米級(jí)分辨率

• ?抗蝕刻性?：適用于后續(xù)刻蝕工藝

• ?旋涂條件?：根據(jù)同類(lèi)產(chǎn)品推測(cè)，可能采用分段旋涂工藝（低速鋪展+高速成膜）

• ?顯影條件?：需使用顯影液，具體參數(shù)未明確

• 半導(dǎo)體制造中的電子束光刻工藝

• 微納結(jié)構(gòu)制作

• 科研實(shí)驗(yàn)中的納米級(jí)圖案化

• 2D材料集成器件制造