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具體地,為了減小螺釘16的上端部與上減震橡膠墊172之間的壓強,進而延長上減震橡膠墊172的使用壽命,所述螺釘16的上端部和上減震橡膠墊172之間設(shè)置有墊片173。在本實施例中,所述螺釘16設(shè)置有四個,為了當(dāng)不再繼續(xù)加料時,可以更方便地將外部化料器7提升不干涉主爐室坩堝21上升的位置,并方便外部化料器7的移動、拆解和清理,連續(xù)拉晶單晶爐還包括化料器升降驅(qū)動裝置和化料器旋臂18,所述底座1上設(shè)置有立柱10,所述化料器旋臂18鉸接在立柱10上,所述化料器升降驅(qū)動裝置連接在化料器旋臂18上,所述外部化料器7連接在化料器升降驅(qū)動裝置上,以便在不繼續(xù)加料時,通過化料器升降驅(qū)動裝置驅(qū)動外部化料器7上升不干涉主爐室坩堝21上升的位置;和化料器升降驅(qū)動裝置及外部化料器7隨化料器旋臂18一起轉(zhuǎn)動。
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全自動控制系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計,維護方便,可靠性高,抗干擾性好。雙攝像頭實時采集晶體直徑信息。液面測溫確保下籽晶溫度和可重復(fù)性。爐內(nèi)溫度或加熱功率控制方式可選,??販鼐?。質(zhì)量流量計控制流量。真空計結(jié)合電動蝶閥實時控制爐內(nèi)真空度。上稱重傳感器用于晶棒直徑的輔助控制。伺服電機和步進電機的混合使用,即可滿足轉(zhuǎn)動所需的扭矩,又可實現(xiàn)轉(zhuǎn)速的控制。質(zhì)量流量計控制流量。自主產(chǎn)權(quán)的控制軟件采用視窗平臺,操作方便簡潔直觀。多種曲線和數(shù)據(jù)交叉分析工具提供了工藝實時監(jiān)控的平臺。完整的工藝設(shè)定界面使計算機可以自動完成幾乎所有的工藝過程。加熱電源采用綠色縱向12脈沖直流電源。比傳統(tǒng)直流電源節(jié)能近15%。特殊的溫場設(shè)計使晶體提拉速度提高20-30%。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,所述氣流導(dǎo)向裝置的中軸孔與該爐的石墨中軸活動密封連接,以防止 因該中軸孔與石墨中軸之間的間隙而漏氣,影響排氣效果。所述氣流導(dǎo)向裝置的電極孔分別與該爐的電極柱密封連接,以防止因 該電極孔與電極柱之間的間隙而漏氣,影響排氣效果。所述氣流導(dǎo)向裝置的上端部的外壁與該爐的保溫筒密封連接,以防止 因氣流導(dǎo)向裝置的上端部的外壁與該爐的保溫筒之間的間隙而漏氣,影響 排氣效果所述氣流導(dǎo)向裝置各通氣孔與該爐的排氣口通過通氣管相連通,以提 高排氣效果。所述氣流導(dǎo)向裝置由石墨制成,石墨具有強度高、抗熱震性好、耐高 溫、抗氧化、電阻系數(shù)小、耐腐蝕、易于精密機加工等優(yōu)點。本發(fā)明具有積極的效果(1)