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并在副爐室3移取晶位的過程中，通過電動(dòng)接晶托防止晶棒掉落，安全；當(dāng)不再繼續(xù)加料時(shí)，通過化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置將外部化料器7提升不干涉主爐室坩堝21上升的位置，并通過化料器旋臂18的旋轉(zhuǎn)旋開外部化料器7，進(jìn)而方便拆爐和清理；本發(fā)明通過減震裝置對(duì)下驅(qū)動(dòng)裝置進(jìn)行減震，使拉晶時(shí)下驅(qū)動(dòng)裝置不受外界震動(dòng)影響，進(jìn)而保晶棒質(zhì)量；本發(fā)明的升降絲桿91、旋轉(zhuǎn)絲桿112和絲杠192的外側(cè)分別套裝有防塵罩，進(jìn)而防止?jié)櫥椭瑩]發(fā)污染原料。

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單晶爐晶體提拉系統(tǒng)平衡研究\提拉法單晶爐是晶體生長設(shè)備中重要的產(chǎn)品系列之一,用此方法單晶生長速度,晶體尺寸,晶體質(zhì)量,易實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制,因此獲得了廣泛的應(yīng)用。而此方法生產(chǎn)單晶的主要因素取決于單晶提拉過程的平穩(wěn)性,因此提拉系統(tǒng)良好的平穩(wěn)性是提高單晶爐設(shè)備性能和生產(chǎn)效率的關(guān)鍵。以良好的平穩(wěn)性為目標(biāo),本文對(duì)單晶爐提拉系統(tǒng)進(jìn)行了系統(tǒng)平衡方面的研究。本文介紹了單晶爐提拉系統(tǒng)的功能、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)以及工作原理；討論了單晶爐提拉系統(tǒng)靜平衡與動(dòng)平衡的原理和方法,分析、研究了提拉系統(tǒng)完全平衡的條件,以及提拉系統(tǒng)不平衡校正的方法。