浙江北侖控制屏回收 浙江北侖直拉式單晶爐回收
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單晶爐真空系統(tǒng)的除塵技術(shù)/單晶爐是單晶體生長(zhǎng)設(shè)備。單晶體生長(zhǎng)要求在真空和惰性氣體中進(jìn)行。真空裝置應(yīng)能保爐體內(nèi)熱真空度達(dá)5×1024mm 柱以上。如果使用惰性氣體作保護(hù)氣氛，爐體上、下都設(shè)有進(jìn)出氣的氣口。生長(zhǎng)單晶體時(shí)，抽真空及真空裝置注入惰性氣體后都需配備除塵裝置。西安理工大學(xué)工廠生產(chǎn)的混合式除塵器較好地解決了這一問(wèn)題。本廠單晶爐系列：TDR262A (B)、TDR280、TDR270A 等多種爐型近百臺(tái)產(chǎn)品都使用這種除塵器。實(shí)踐明，它的主要優(yōu)點(diǎn)是除塵，能適應(yīng)不同抽氣階段真空度的要求，容塵量大。其具體結(jié)構(gòu)見(jiàn)圖2、圖3。該除塵器綜合運(yùn)用離心力、慣性碰撞、接觸阻留、擴(kuò)散這幾種除塵機(jī)理。藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長(zhǎng)晶爐回收，多晶長(zhǎng)晶爐回收，臥式長(zhǎng)晶爐回收，拉式單晶爐、收購(gòu)直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，上稱(chēng)重傳感器用于晶棒直徑的輔助控制。伺服電機(jī)和步進(jìn)電機(jī)的混合使用，即可滿(mǎn)足轉(zhuǎn)動(dòng)所需的扭矩，又可實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)速的控制。質(zhì)量流量計(jì)控制流量。自主產(chǎn)權(quán)的控制軟件采用視窗平臺(tái)，操作方便簡(jiǎn)潔直觀。多種曲線(xiàn)和數(shù)據(jù)交叉分析工具提供了工藝實(shí)時(shí)監(jiān)控的平臺(tái)。完整的工藝設(shè)定界面使計(jì)算機(jī)可以自動(dòng)完成幾乎所有的工藝過(guò)程。加熱電源采用綠色縱向12脈沖直流電源。比傳統(tǒng)直流電源節(jié)能近15%。特殊的溫場(chǎng)設(shè)計(jì)使晶體提拉速度提高20-30%。

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由于數(shù)值模擬提供了一個(gè)近似真實(shí)的過(guò)程，利用這一技術(shù)可以很容易的對(duì)任何類(lèi)型的變化（幾何尺寸、保溫材料、加熱器、環(huán)境等）對(duì)晶體質(zhì)量的影響做出容易的判斷。數(shù)值仿真是用來(lái)獲得廉價(jià)的，完整的和細(xì)節(jié)的結(jié)晶過(guò)程，以此方法用來(lái)預(yù)測(cè)晶體生長(zhǎng),改善晶體生長(zhǎng)技術(shù)。舉例來(lái)說(shuō)，對(duì)于無(wú)經(jīng)驗(yàn)人員，可以形象化展示熔體流動(dòng)的歷史點(diǎn)缺陷和熱應(yīng)力細(xì)節(jié)。所以數(shù)值仿真是一種達(dá)到較高生產(chǎn)率和較好滿(mǎn)足市場(chǎng)對(duì)晶體直徑，質(zhì)量要求的辦法。面向過(guò)程的仿真軟件FEMAG為用戶(hù)提供了可以深入研究的數(shù)值工具,用戶(hù)通過(guò)有效的計(jì)算機(jī)模擬可以設(shè)計(jì)和優(yōu)化工作流程。通過(guò)對(duì)單晶爐熱場(chǎng)的仿真計(jì)算，優(yōu)化設(shè)計(jì)單晶爐的機(jī)械結(jié)構(gòu)，在拉晶過(guò)程中以仿真結(jié)果設(shè)定合理的理論拉晶曲線(xiàn)可以在實(shí)際生產(chǎn)中是完全可以生長(zhǎng)出合格的單晶硅棒。