氣體氦氣純度檢測是指對氦氣（He）中雜質(zhì)含量的測定，以確保其純度符合特定應(yīng)用的要求。氦氣因其化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、密度小、導(dǎo)熱性好等特點，廣泛應(yīng)用于科研、醫(yī)療、電子制造、航空航天、焊接、低溫制冷等領(lǐng)域。 一、氦氣純度檢測的重要性 工業(yè)應(yīng)用 ：如半導(dǎo)體制造、光纖生產(chǎn)等對氣體純度要求。 安全與性能 ：雜質(zhì)影響設(shè)備運行或造成安全隱患。 成本控制 ：高純度氦氣價格昂貴，需確保使用效率。 二、常見的氦氣純度檢測方法

1. 氣相色譜法（GC） 原理 ：利用不同氣體組分在固定相中的吸附/分配差異進行分離，通過檢測器定量分析。 適用范圍 ：檢測痕量雜質(zhì)（如氮、氧、氫、氬、甲 等）。 常用檢測器 ： 熱導(dǎo)檢測器（TCD） 氫火焰離子化檢測器（FID） 電子捕獲檢測器（ECD）

2. 2. 質(zhì)譜分析（MS） 原理 ：將氣體分子電離后根據(jù)質(zhì)荷比（m/z）進行分離和檢測。 優(yōu)點 ：靈敏度高，可檢測極微量雜質(zhì)。 常見設(shè)備 ：四極桿質(zhì)譜儀（QMS）、飛行時間質(zhì)譜（TOF MS）

3. 3. 紅外光譜法（IR） 原理 ：基于不同氣體分子對特定波長紅外光的吸收特性。 適用范圍 ：適用于檢測CO?、CH?等氣體。

4. 4. 激光吸收光譜法（LAS） 原理 ：利用激光與氣體分子相互作用，測量吸收強度。 優(yōu)點 ：非接觸式、實時在線監(jiān)測。

5. 1. 采樣 ：從氣瓶或管道中采集樣品，注意避免污染。

6. 2. 預(yù)處理 ：必要時進行干燥、過濾等處理。

7. 3. 儀器校準 ：使用標準氣體進行校準。