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而邊壁的邊界層又是主要影響因素。另一機(jī)理是高濃度塵流中粉塵顆粒的擴(kuò)散與凝聚這對(duì)矛盾中凝聚成為主要矛盾方面。粉塵顆?？梢员舜四墼谝黄?。又可能與實(shí)質(zhì)界面凝聚而吸附在其上面。通過這兩個(gè)機(jī)理，后粉塵從氣體中分離出來。 排塵過程排塵過程主要是經(jīng)分離界面以后已分離出來的粉塵排離排塵口，不同的除塵器排塵的作用力也不同。有些除塵器不需要再加額外動(dòng)力能利用原捕集分離的外力把粉塵排離除塵器。而另一些除塵器則需要加額外的動(dòng)力才能把已分離的粉塵排出。 排氣過程已棄塵后相對(duì)凈化的氣流從排氣口排出的過程稱為排氣過程。上述基本知識(shí)是除塵器、過濾器設(shè)計(jì)制造的理論基礎(chǔ)。下面具體討論單晶爐領(lǐng)域除塵技術(shù)。

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生長(zhǎng)Φ8“直拉硅單晶Φ8”熱場(chǎng)研究及數(shù)值模擬\隨著科學(xué)的飛速發(fā)展,出于提高生產(chǎn)率、降低成本的目的,器件廠家隨著生產(chǎn)規(guī)模的擴(kuò)大逐步要求增大硅片直徑。硅單晶直徑增大后,大熔硅體積、嚴(yán)重的熱對(duì)流使單晶氧含量增大。晶體直徑的增大也使結(jié)晶潛熱的散發(fā)更加困難,結(jié)晶速率難以提高。為了解決這兩個(gè)問題,本文在國(guó)產(chǎn)TDR-80單晶爐的基礎(chǔ)上,對(duì)熱場(chǎng)進(jìn)行了局部改造,施加了新型加強(qiáng)復(fù)合式熱屏。有限元法是一種能求得許多工程問題近似解的數(shù)值分析方法。由于拉單晶過程中投料量較大,爐體結(jié)構(gòu)復(fù)雜、造價(jià)昂貴,所以拉晶實(shí)驗(yàn)成本太高。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，進(jìn)一步為了防止在副爐室移動(dòng)到取晶位的過程中，因晶棒掉落而出現(xiàn)事故，連續(xù)拉晶單晶爐還包括在副爐室移動(dòng)到取晶位的過程中用于承接晶棒的電動(dòng)接晶托，所述電動(dòng)接晶托包括提升桿、用于承接晶棒的托板、電動(dòng)推桿、接晶托電機(jī)和固定管，所述電動(dòng)推桿連接在副爐室旋臂上，所述提升桿連接在電動(dòng)推桿的推桿上，以便通過推桿的升降帶動(dòng)提升桿升降，所述接晶托電機(jī)連接在提升桿上，所述托板連接在接晶托電機(jī)的輸出軸上，以便通過接晶托電機(jī)驅(qū)動(dòng)托板旋轉(zhuǎn)，所述固定管套裝在提升桿和電動(dòng)推桿的推桿的外側(cè)，所述固定管連接在副爐室旋臂上。