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單晶硅生長爐的特點(diǎn)HD系列硅單晶爐的爐室采用3節(jié)設(shè)計(jì)。上筒和上蓋可以上升并向兩邊轉(zhuǎn)動(dòng)，便于裝料和維護(hù)等。爐筒升降支撐采用雙立柱設(shè)計(jì)，提高穩(wěn)定性。支撐柱安裝在爐體支撐平臺(tái)的上面，便于平臺(tái)下面設(shè)備的維護(hù)。爐筒升降采用絲杠提升技術(shù)，簡便干凈。全自動(dòng)控制系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì)，維護(hù)方便，可靠性高，抗干擾性好。雙攝像頭實(shí)時(shí)采集晶體直徑信息。液面測溫確保下籽晶溫度和可重復(fù)性。爐內(nèi)溫度或加熱功率控制方式可選，?？販鼐?。質(zhì)量流量計(jì)控制流量。真空計(jì)結(jié)合電動(dòng)蝶閥實(shí)時(shí)控制爐內(nèi)真空度。

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由于數(shù)值模擬提供了一個(gè)近似真實(shí)的過程，利用這一技術(shù)可以很容易的對(duì)任何類型的變化（幾何尺寸、保溫材料、加熱器、環(huán)境等）對(duì)晶體質(zhì)量的影響做出容易的判斷。數(shù)值仿真是用來獲得廉價(jià)的，完整的和細(xì)節(jié)的結(jié)晶過程，以此方法用來預(yù)測晶體生長,改善晶體生長技術(shù)。舉例來說，對(duì)于無經(jīng)驗(yàn)人員，可以形象化展示熔體流動(dòng)的歷史點(diǎn)缺陷和熱應(yīng)力細(xì)節(jié)。所以數(shù)值仿真是一種達(dá)到較高生產(chǎn)率和較好滿足市場對(duì)晶體直徑，質(zhì)量要求的辦法。面向過程的仿真軟件FEMAG為用戶提供了可以深入研究的數(shù)值工具,用戶通過有效的計(jì)算機(jī)模擬可以設(shè)計(jì)和優(yōu)化工作流程。通過對(duì)單晶爐熱場的仿真計(jì)算，優(yōu)化設(shè)計(jì)單晶爐的機(jī)械結(jié)構(gòu)，在拉晶過程中以仿真結(jié)果設(shè)定合理的理論拉晶曲線可以在實(shí)際生產(chǎn)中是完全可以生長出合格的單晶硅棒。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，(4) 電氣硬件設(shè)置、本系統(tǒng)的電氣柜內(nèi)布局采用模塊化集中管理，各個(gè)模塊間連接簡單，單個(gè)模塊可以帶電維修，電機(jī)保護(hù)采用空氣開關(guān)和絲結(jié)合的方法便于操作和維護(hù)。同時(shí)主要的電氣點(diǎn)都能簡單的在端子板上查出。整個(gè)機(jī)箱布局合理，簡單。同時(shí)帶有雙色聲光報(bào)*燈進(jìn)行提示。