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連云港plc編程回收連云港提拉式長晶爐回收

更新時間:2025-09-30 [舉報]
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基本介紹編輯1、主機部分:機架,雙立柱\雙層水冷式結構爐體\水冷式閥座\晶體提升及旋轉機構\坩堝提升及旋轉機構\系統(tǒng)\真空系統(tǒng)及自動爐壓檢測控制\水冷系統(tǒng)及多種安全保障裝置\留有二次加料口2、加熱器電源:全水冷電源裝置采用專利電源或原裝進口IG及超快恢復二極管等功率器件。配以高頻變壓器,構成新一代高頻開關電源。采用移相全橋軟開關(ZVS)及CPU控制技術,提高了電能轉換效率,不需要功率因數(shù)補償裝置。3、計算機控制系統(tǒng):采用PLC和上位工業(yè)平板電腦PC機,配備大屏幕觸摸式HMI人機界面、高像素CCD測徑ADC系統(tǒng)和具有知識產(chǎn)權的“全自動CZ法晶體生長SCADA監(jiān)控系統(tǒng)”,可實現(xiàn)從抽真空—檢漏—爐壓控制—熔料—穩(wěn)定—溶接—引晶—放肩—轉肩—等徑—收尾—停爐全過程自動控制。
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因此,在向單晶爐內不斷充入 的同時,還用真空泵將混合氣體排出爐外;在排氣時,混合氣體流經(jīng) 爐中的加熱器、坩堝支持器等處,后經(jīng)過爐下端的排氣口排出。上述圖1的單晶爐的不足之處在于單晶爐內空間較大,尤其是坩堝 支持器下方的空間較大,導致坩堝支持器下方的混合氣體不能及時排出, 熱能消耗量較大;另外,現(xiàn)有技術中,從輸入管向爐內充入時, 充氣氣壓為1. 3x 103pa,流量為40L/min,因此其消耗量大,生產(chǎn) 成本較高。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,工作原理如下:取出晶棒后,將硅料加入加料坩堝62,蓋上外部加料器6的上蓋63,將外部加料器6真空抽到合適壓力值時打開旋閥64,硅料落入外部化料器7中并在外部化料器7中被熔化,熔化后的硅料流入主爐室坩堝21,當外部化料器7中的硅料加完后,再關閉旋閥64,把外部加料器6充常壓,打開外部加料器6的上蓋63繼續(xù)加料,如此循環(huán),進而完成外部加料、化料,本發(fā)明可實現(xiàn)連續(xù)拉晶,選用合適的主爐室坩堝21可以實現(xiàn)連續(xù)拉制五六根晶棒,可大幅減少冷卻、拆爐、裝爐的時間,進而提高生產(chǎn)效率;本發(fā)明可通過加料器升降驅動裝置和加料器旋轉驅動裝置將外部加料器6移出工作位并旋開,進而方便拆爐和清理,本發(fā)明的加料器升降驅動裝置和加料器旋轉驅動裝置配上工裝還可以吊裝主爐室2的零部件;本發(fā)明可通過副爐室升降驅動裝置12和副爐室旋轉驅動裝置13驅動副爐室3移動,

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