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單晶爐構成編輯=提拉頭:主要由安裝盤 減速機 籽晶腔 劃線環(huán) 電機 磁流體 籽晶稱重頭 軟波紋管等其他部件組成/副室:主要是副室筒以及上下法蘭組成/ 爐蓋:副室連接法蘭,翻板閥,觀察窗 抽真空管道 組成/爐筒:包括取光孔下爐筒:包括抽真空管道/底座機架:全鑄鐵機架和底座/坩堝下傳動裝置:主要由磁流體 電機 坩堝支撐軸 減速機 軟波紋管 立柱 上下傳動支撐架 導軌 等部件組成/分水器已經水路布置:包括分水器,進水水管,若干膠管 水管卡套等/管道布置:質量流量計 3根以上的柔性管 不銹鋼管 3個壓力探測器 高密封性卡套 等部件/真空泵以及真空除塵裝置:油壓真空泵 水環(huán)真空泵 過濾器 真空管道 硬波紋管等/電源以及電控柜:電源柜 濾波柜 控制柜 以及連接線
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單晶硅生長爐的原理簡介/我有更好的/,把高純度的多晶硅原料放入高純石英坩堝,通過石墨加熱器產生的高溫將其熔化;然后,對熔化的硅液稍做降溫,使之產生一定的過冷度,再用一根固定在籽晶軸上的硅單晶體(稱作籽晶)插入熔體表面,待籽晶與熔體熔和后,慢慢向上拉籽晶,晶體便會在籽晶下端生長;接著,控制籽晶生長出一段長為100mm左右、直徑為3~5mm的細頸,用于消除高溫溶液對籽晶的強烈熱沖擊而產生的原子排列的位錯,這個過程是引晶;隨后,放大晶體直徑到工藝要求的大小,一般為75~300mm,這個過程稱為放肩;接著,突然提高拉速進行轉肩操作,分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,根據權利要求4所述的直拉式單晶生長爐,其特征在于所述氣流 導向裝置(20)的上端部(2-4)的外壁與該爐的保溫筒(17)密封連接。6、 根據權利要求5所述的直拉式單晶生長爐,其特征在于所述氣流 導向裝置(20)各通氣孔(2-3)與該爐的排氣口 (13)通過通氣管(19) 相連通。7、 根據權利要求6所述的直拉式單晶生長爐,其特征在于所述氣流 導向裝置(20)由石墨制成。