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本發(fā)明可通過加料器升降驅(qū)動裝置和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置將外部加料器移出工作位并旋開，進而方便拆爐和清理，本發(fā)明的加料器升降驅(qū)動裝置和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置配上工裝還可以吊裝主爐室的零部件；、本發(fā)明可通過副爐室升降驅(qū)動裝置和副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置驅(qū)動副爐室移動，并在副爐室移取晶位的過程中，通過電動接晶托防止晶棒掉落，安全；、當不再繼續(xù)加料時，通過化料器升降驅(qū)動裝置將外部化料器提升不干涉主爐室坩堝上升的位置，并通過化料器旋臂的旋轉(zhuǎn)旋開外部化料器，進而方便拆爐和清理；、本發(fā)明通過減震裝置對下驅(qū)動裝置進行減震，使拉晶時下驅(qū)動裝置不受外界震動影響，進而保晶棒質(zhì)量。

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進一步為了避免下驅(qū)動裝置受到外界震動的影響，進而保下驅(qū)動裝置的工作精，所述底座和下驅(qū)動裝置之間設置有減震裝置，所述下驅(qū)動裝置的底端設置有承載板，所述承載板通過少兩個螺釘固定連接在底座上，所訴減震裝置包括與螺釘分別一一對應的下減震橡膠墊和上減震橡膠墊，所述下減震橡膠墊套裝在螺釘?shù)南露瞬?，所述下減震橡膠墊的底部和底座抵接，所述下減震橡膠墊的頂部和承載板抵接，以便于通過下橡膠減震墊吸收從外界傳來的震動，以避免下驅(qū)動裝置受到外界震動的影響，所述上減震橡膠墊套裝在螺釘?shù)纳隙瞬?，且所述上減震橡膠墊與承載板的上端面壓接，以避免螺釘?shù)恼饎佑绊懙匠休d板。