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采用了上述技術(shù)方案后，本發(fā)明具有以下有益效果：、取出晶棒后，將硅料加入加料坩堝，蓋上外部加料器的上蓋，將外部加料器真空抽到合適壓力值時打開旋閥，硅料落入外部化料器中并在外部化料器中被熔化，熔化后的硅料流入主爐室坩堝，當(dāng)外部化料器中的硅料加完后，再關(guān)閉旋閥，把外部加料器充常壓，打開外部加料器的上蓋繼續(xù)加料，如此循環(huán)，進而完成外部加料、化料，本發(fā)明可實現(xiàn)連續(xù)拉晶，選用合適的主爐室坩堝可以實現(xiàn)連續(xù)拉制五六根晶棒，可大幅減少冷卻、拆爐、裝爐的時間，進而提高生產(chǎn)效率；、

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單晶硅生長爐的特點HD系列硅單晶爐的爐室采用3節(jié)設(shè)計。上筒和上蓋可以上升并向兩邊轉(zhuǎn)動，便于裝料和維護等。爐筒升降支撐采用雙立柱設(shè)計，提高穩(wěn)定性。支撐柱安裝在爐體支撐平臺的上面，便于平臺下面設(shè)備的維護。爐筒升降采用絲杠提升技術(shù)，簡便干凈。全自動控制系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計，維護方便，可靠性高，抗干擾性好。雙攝像頭實時采集晶體直徑信息。液面測溫確保下籽晶溫度和可重復(fù)性。爐內(nèi)溫度或加熱功率控制方式可選，?？販鼐?。質(zhì)量流量計控制流量。真空計結(jié)合電動蝶閥實時控制爐內(nèi)真空度。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，離線裝料技術(shù)在直拉法硅單晶生產(chǎn)中的應(yīng)用\引言直拉法(CZ)生產(chǎn)單晶硅是目前制備單晶硅的主要方法。在單晶生產(chǎn)過程中,傳統(tǒng)裝料方法為爐前裝料,即,以人工方式在單晶爐前將固態(tài)多晶硅料一塊塊地從爐體外轉(zhuǎn)移到石英坩堝內(nèi),再進行合爐、真空檢漏[1]。整個過程非常緩慢,而且裝料過程中要避免硅料碎屑落入熱場內(nèi),裝料時間(清爐結(jié)束到合爐)約為2h,操作起來較繁瑣。此外,裝料工工作量不飽和,存在人力浪費現(xiàn)象;在車間內(nèi)部裝料過程中涉及環(huán)節(jié)較多,硅料的潔凈度存在質(zhì)量隱患,不能確保硅棒的產(chǎn)品質(zhì)量[2]。隨著光伏市場競爭的日趨激烈,追求低成本和率成為每一個企業(yè)市場的逐勝之道。