普陀渦輪分子泵回收 普陀真空爐回收
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用于熔化硅料的外部化料器7，所述外部化料器7的和加料坩堝62相連通，所述外部化料器7的底端和主爐室坩堝21相連通，以便將硅料加加料坩堝62后，硅料漏外部化料器7后被外部化料器7熔化，被熔化后的硅料流主爐室坩堝21內(nèi)。具體地，外部加料器6和外部化料器7之間設(shè)置有旋閥64，以便通過(guò)旋閥64控制外部加料器6和外部化料器7之間是否連通，所述外部化料器包括裝料器71、化料器坩堝72和用于給化料器坩堝72加熱以便硅料熔化的熱場(chǎng)73，所述裝料器71和加料坩堝62相連通，所述化料器坩堝72和裝料器71相連通，藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長(zhǎng)晶爐回收，多晶長(zhǎng)晶爐回收，臥式長(zhǎng)晶爐回收，拉式單晶爐、收購(gòu)直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，全自動(dòng)控制系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì)，維護(hù)方便，可靠性高，抗干擾性好。雙攝像頭實(shí)時(shí)采集晶體直徑信息。液面測(cè)溫確保下籽晶溫度和可重復(fù)性。爐內(nèi)溫度或加熱功率控制方式可選，保控溫精度。質(zhì)量流量計(jì)控制流量。真空計(jì)結(jié)合電動(dòng)蝶閥實(shí)時(shí)控制爐內(nèi)真空度。上稱重傳感器用于晶棒直徑的輔助控制。伺服電機(jī)和步進(jìn)電機(jī)的混合使用，即可滿足轉(zhuǎn)動(dòng)所需的扭矩，又可實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)速的控制。質(zhì)量流量計(jì)控制流量。自主產(chǎn)權(quán)的控制軟件采用視窗平臺(tái)，操作方便簡(jiǎn)潔直觀。多種曲線和數(shù)據(jù)交叉分析工具提供了工藝實(shí)時(shí)監(jiān)控的平臺(tái)。完整的工藝設(shè)定界面使計(jì)算機(jī)可以自動(dòng)完成幾乎所有的工藝過(guò)程。加熱電源采用綠色縱向12脈沖直流電源。比傳統(tǒng)直流電源節(jié)能近15%。特殊的溫場(chǎng)設(shè)計(jì)使晶體提拉速度提高20-30%。

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具體實(shí)施方式、本實(shí)施例的直拉式單晶生長(zhǎng)爐包括輸入管12、與氬 氣輸入管12相連通的環(huán)形氣體分布器11;其特征在于經(jīng)輸入管12 輸入的氣壓為0. 8 x 10a0. 9 x 10a,流量為30L/min。還包括設(shè)于該爐的坩堝支持器14下方和該爐底部的排氣口 13之間 的碗形的氣流導(dǎo)向裝置20;其包括設(shè)于氣流導(dǎo)向裝置20底部的中軸 孔2-l、設(shè)于所述中軸孔2-1兩側(cè)的一對(duì)電極孔2-2、以及設(shè)于所述中軸孔 2-1兩側(cè)并與該爐的排氣口 13相對(duì)的通氣孔2-3;該爐的石墨中軸21穿過(guò)所述氣流導(dǎo)向裝置20的中軸孔2-1，該爐的一對(duì)電極柱15分別穿過(guò)所述電 極孔2-2，該爐的排氣口 13與氣流導(dǎo)向裝置20的各通氣孔2-3相連通，氣 流導(dǎo)向裝置20的上端部2-4設(shè)于該爐的保溫筒17與發(fā)熱體16之間。