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具體實施方式為了使本發(fā)明的內(nèi)容更容易被清楚地理解,下面根據(jù)具體實施例并結(jié)合附圖,對本發(fā)明作進一步詳細的說明,一種連續(xù)拉晶單晶爐,它包括括底座1、主爐室2、副爐室3、下驅(qū)動裝置4和上驅(qū)動裝置5,所述主爐室2和下驅(qū)動裝置4均安裝在底座1上,所述主爐室2內(nèi)設(shè)置有爐室坩堝21,所述下驅(qū)動裝置4和主爐室坩堝21相連,以便通過下驅(qū)動裝置4驅(qū)動主爐室坩堝21升降,所述副爐室3和主爐室2相連通,所述上驅(qū)動裝置5安裝在副爐室3的上端,以便通過上驅(qū)動裝置5驅(qū)動拉晶,其特征在于,它還包括:外部加料器6,所述外部加料器6內(nèi)設(shè)置有加料腔61,所述加料腔61內(nèi)設(shè)置有加料坩堝62,所述外部加料器6的蓋裝有上蓋63;藍寶石長晶爐回收,多晶硅鑄錠爐回收,提拉式長晶爐回收,多晶長晶爐回收,臥式長晶爐回收,拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,所述熱場73套裝在化料器坩堝72的外側(cè),便硅料依次進入加料坩堝62、裝料器71和化料器坩堝72,并在化料器坩堝72內(nèi)經(jīng)熱場73熔化后又進入主爐室坩堝21,為了方便外部加料器6的移動、拆卸和清理,連續(xù)拉晶單晶爐還包括用于驅(qū)動外部加料器6升降的加料器升降驅(qū)動裝置和用于驅(qū)動外部加料器6旋轉(zhuǎn)的加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置,所述外部加料器6通過加料器旋臂8連接在加料器升降驅(qū)動裝置上,以便通過加料器升降驅(qū)動裝置驅(qū)動加料器旋臂8升降,并通過加料器旋臂8帶動外部加料器6升降,所述加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置連接在加料器升降驅(qū)動裝置和加料器旋臂8之間,以便加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置隨加料器旋臂8一起升降,并通過加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置驅(qū)動加料器旋臂8旋轉(zhuǎn),加料器旋臂8又帶動外部加料器6旋轉(zhuǎn)。

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生長Φ8“直拉硅單晶Φ8”熱場研究及數(shù)值模擬\隨著科學的飛速發(fā)展,出于提高生產(chǎn)率、降低成本的目的,器件廠家隨著生產(chǎn)規(guī)模的擴大逐步要求增大硅片直徑。硅單晶直徑增大后,大熔硅體積、嚴重的熱對流使單晶氧含量增大。晶體直徑的增大也使結(jié)晶潛熱的散發(fā)更加困難,結(jié)晶速率難以提高。為了解決這兩個問題,本文在國產(chǎn)TDR-80單晶爐的基礎(chǔ)上,對熱場進行了局部改造,施加了新型加強復(fù)合式熱屏。有限元法是一種能求得許多工程問題近似解的數(shù)值分析方法。由于拉單晶過程中投料量較大,爐體結(jié)構(gòu)復(fù)雜、造價昂貴,所以拉晶實驗成本太高。