高純二氧化碳(CO?)氣體檢測是指對高純度二氧化碳中雜質(zhì)含量的檢測,以確保其符合特定的工業(yè)、醫(yī)療、食品或科研用途的標準。高純二氧化碳通常指純度在99.9%以上的產(chǎn)品,常見于電子制造、食品加工、 、氣相色譜分析、焊接保護氣體等領(lǐng)域。 一、高純二氧化碳檢測的主要項目
主成分檢測 CO?純度 :通過氣相色譜法(GC)、紅外光譜法(IR)等方法測定。 雜質(zhì)氣體 :如O?、N?、CH?、H?O、H?S、SO?、NOx、烴類等。
2. 水分含量檢測 露點溫度(Dew Point) :使用冷鏡式露點儀或電容式濕度傳感器測量。 水分含量(ppm) :適用于要求極低含水量的應(yīng)用,如半導(dǎo)體制造。
3. 酸性氣體檢測 H?S、SO?、CO :來自生產(chǎn)過程中的副產(chǎn)物,需用化學(xué)吸收法或氣相色譜法檢測。
4. 金屬雜質(zhì)檢測 如Fe、Cu、Ni等金屬離子,可通過原子吸收光譜(AAS)或ICP MS檢測。
5. 顆粒物檢測 高純氣體中不允許有微粒污染,可用激光粒子計數(shù)器進行檢測。 二、常用的檢測方法 | 檢測項目 | 常用檢測方法 | | | | | CO?純度 | 氣相色譜法(GC) | | 水分含量 | 冷鏡式露點儀、電容式濕度計 | | O?、N? | 氣相色譜法(GC) | | CH?、C?H?等烴類 | 氣相色譜法(GC) | | H?S、SO?等酸性氣體 | 化學(xué)吸收法、氣相色譜法 | | 金屬雜質(zhì) | ICP MS、AAS | | 顆粒物 | 激光粒子計數(shù)器 | 三、高純二氧化碳的應(yīng)用領(lǐng)域及標準 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 純度要求 | 常見標準 | | | | | | 半導(dǎo)體制造 | ≥99.999% | AS D1835, GB/T 6052 | | | ≥99.9% | ISO 7396, GB 18674 | | 食品工業(yè) | ≥99.9% | GB 1886.113 | | 氣相色譜載氣 | ≥99.999% | AS D1835 | | 焊接保護氣體 | ≥99.9% | GB/T 8110 | 四、檢測機構(gòu)與認證 第三方檢測機構(gòu) :如SGS、Intertek、TüV、中國檢驗檢疫科學(xué)研究院等。 認證標準 :ISO 17025、CNAS、CMA等。 五、注意事項
1. 采樣系統(tǒng) :使用惰性材料(如不銹鋼、聚四氟 )避免污染。
2. 樣品處理 :避免暴露在空氣中,防止水分和氧氣進入。