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為現(xiàn)有技術(shù)的切克勞斯基(直拉)法制造硅單晶的直拉式單晶生長(zhǎng) 爐的剖面結(jié)構(gòu)示意圖2為圖1中的輸入管與環(huán)形氣體分布器的結(jié)構(gòu)示意圖3為實(shí)施例1中直拉式單晶生長(zhǎng)爐的氣流導(dǎo)向裝置的結(jié)構(gòu)示意圖4為圖3的A-A剖面視圖5為為圖3的B-B剖面視圖6為實(shí)施例1中直拉式單晶生長(zhǎng)爐的剖面結(jié)構(gòu)示意圖7為實(shí)施例1中直拉式單晶生長(zhǎng)爐的另一剖面結(jié)構(gòu)示意圖。

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由于 該爐的排氣口 13與氣流導(dǎo)向裝置20的各通氣孔2-3相連通，整個(gè)爐內(nèi)的 一氧化硅與的混合氣體(包括坩堝支持器14下方的混合氣體)能通暢 地排出爐外，整個(gè)爐內(nèi)不存在排氣死角，既有效地防止了一氧化硅氣體對(duì) 加熱器7和坩堝支持器14等石墨器件的腐蝕，還可有效防止雜質(zhì)粉塵吸附 在這些石墨器件上，從而確保了該爐的使用壽命。氣流導(dǎo)向裝置20的一對(duì) 通氣孔2-3與該爐的一對(duì)排氣口 13相對(duì)設(shè)置，縮短了排氣管路的長(zhǎng)度，利 于提高排氣效率。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，周期式電阻爐的分類A． 箱式爐 B． 臺(tái)車爐（分為自行式和牽引式），用作退火之用，加熱后工件隨爐冷卻 C． 井式爐 D． 罩式爐（主要用于退火，加熱罩可吊移）　E． 底升式罩式爐（罩子固定，升降底座，適用于大型爐子）F． 轉(zhuǎn)筒式爐 G． 密封箱式爐（又稱為多用爐，可進(jìn)行滲碳、光潔淬火、碳氮共滲等熱處理工藝。