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直拉式單晶生長(zhǎng)爐的制作方法、專利名稱：直拉式單晶生長(zhǎng)爐的制作方法、技術(shù)領(lǐng)域：本發(fā)明涉及一種直拉式單晶生長(zhǎng)爐。背景技術(shù)：圖1為切克勞斯基(直拉)法制造硅單晶的單晶爐剖面示意圖；圖1-2 中，l為爐筒，2為保溫蓋，3為保溫蓋，4為保溫材津牛，5為保溫罩，6為 加熱器，7為水套，8為石英堝，9為導(dǎo)流筒，IO為爐底護(hù)盤、12為輸 入管、11為分布有出氣孔11-1的環(huán)形氣體分布器、13為排氣口。直拉硅單晶在生長(zhǎng)過(guò)程中需要向爐內(nèi)不斷充入，并與爐內(nèi)生成的 一氧化硅及雜質(zhì)粉塵混合，由于單晶爐內(nèi)的加熱器和坩堝支持器等均由石 墨制成， 一氧化硅易腐蝕所述石墨制成的器件且雜質(zhì)粉塵易吸附在這些器 件上，從而影響了單晶爐的使用壽命。

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進(jìn)一步為了當(dāng)不再繼續(xù)加料時(shí)，可以更方便地將外部化料器提升不干涉主爐室坩堝上升的位置，并方便外部化料器的移動(dòng)、拆解和清理，連續(xù)拉晶單晶爐還包括化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置和化料器旋臂，所述底座上設(shè)置有立柱，所述化料器旋臂鉸接在立柱上，所述化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置連接在化料器旋臂上，所述外部化料器連接在化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置上，以便在不繼續(xù)加料時(shí)，通過(guò)化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)外部化料器上升不干涉主爐室坩堝上升的位置；和化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置及外部化料器隨化料器旋臂一起轉(zhuǎn)動(dòng)。進(jìn)一步提供了一種化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置的具體結(jié)構(gòu)，所述化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置包括支撐桿、絲杠、電機(jī)和連接塊，所述支撐桿連接在化料器旋臂上，所述絲杠可旋轉(zhuǎn)地支承在支撐桿上，所述電機(jī)連接在絲杠上，所述連接塊通過(guò)螺紋連接在絲杠上，所述外部化料器連接在連接塊上，以便通過(guò)電機(jī)驅(qū)動(dòng)絲杠旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而將絲杠的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為連接塊的直線運(yùn)動(dòng)，并通過(guò)所述連接塊帶動(dòng)外部化料器升降。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，電氣特點(diǎn)(1)本系統(tǒng)采用PLC，工業(yè)彩色觸摸屏，因此系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，具有用電省, 發(fā)熱小的特點(diǎn)。系統(tǒng)可靠性很高，不會(huì)死機(jī)。同時(shí)觸摸屏和PLC間工作，連接僅僅使用1根通訊線即可。(2) 控制軟件、系統(tǒng)能按照工藝員寫入的工藝文件，進(jìn)行半自動(dòng)拉晶，可以在顯示器上修改，立即生效，操作方便。自動(dòng)工藝可以單步執(zhí)行也可以連續(xù)自動(dòng)流程。在溫度閉環(huán)上增加功率限制，信號(hào)故障判斷診斷功能，可以排除觀察孔污染，信號(hào)被干擾，加熱電源故障，加熱器短路，加熱器電阻突變，人工輸入失誤等錯(cuò)誤。(3) 工作站監(jiān)控系統(tǒng)、本系統(tǒng)還配置有工作站監(jiān)控系統(tǒng)，用一臺(tái)PC機(jī)可同時(shí)監(jiān)控8臺(tái)單晶爐，采用RS422高速通訊，光電隔離，可靠性高。