潔凈車間潔凈程度和控制污染的持續(xù)穩(wěn)定性,是檢驗(yàn)潔凈室質(zhì)量的核心標(biāo)準(zhǔn),該標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)區(qū)域環(huán)境、凈化程度等因素,分為若干等級(jí),常用的有國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)內(nèi)區(qū)域行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
潔凈技術(shù),即玷污控制(Contamination Control)技術(shù)。指的是:對(duì)象(產(chǎn)品、人及動(dòng)物)在被加工、處置、治療、防護(hù)及實(shí)驗(yàn)等過(guò)程中,對(duì)其所處環(huán)境內(nèi)玷污物(影響對(duì)象的加工、處置、治療等質(zhì)量、合格率或成功率的物質(zhì))進(jìn)行控制的技術(shù)。
無(wú)塵車間主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無(wú)塵車間。