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氦質譜檢漏的基本方法-噴氦法
使用氦質譜檢漏儀進行檢漏有噴氦法(也叫真空法)、吸槍法等多種方式,對真空設備進行檢漏常用的是噴氦法。
啟動檢漏儀并把它與被測工件相連,檢漏儀對被測工件內部抽真空,此時對待檢真空設備外部各位置進行噴氦,當噴氦的位置有泄漏時,氦氣就會從漏點進入被測工件從而被檢漏儀檢測到。
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