化學(xué)組分上的均勻性： 就是說在薄膜中，化合物的原子組分會由于尺度過小而很容易的產(chǎn)生不均勻特性，SiTiO3薄膜，如果鍍膜過程不科學(xué)，那么實際表面的組分并不是SiTiO3，而可能是其他的比例，鍍的膜并非是想要的膜的化學(xué)成分，這也是真空鍍膜的技術(shù)含量所在。 具體因素也在下面給出。

定期保養(yǎng)，有人會問常規(guī)保養(yǎng)和定期保養(yǎng)的區(qū)別?事實上，每個設(shè)備都有使用壽命。例如，用于擴(kuò)散泵的硅油具有大約兩年的使用壽命。我們早點換掉它。這是浪費嗎?不，在生產(chǎn)中，設(shè)備故障是不可能發(fā)生的事情。做好日常維護(hù)和定期保養(yǎng)，不僅可以延長設(shè)備的使用壽命，還可以減少運行故障，提高生產(chǎn)效率。

真空鍍膜機(jī)的污染物可以定義為“任何一種無用的物質(zhì)或能量”。多弧離子鍍膜機(jī)根據(jù)污染物的物理狀態(tài)可分為固態(tài)、氣態(tài)和液態(tài)，污染物以薄膜或顆粒的形式存在。就其化學(xué)特性而言，它可以是離子態(tài)或共價態(tài)，無機(jī)態(tài)或有機(jī)態(tài)。