亂流式(Turbulent Flow):
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,級。
優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本，潔凈室之?dāng)U充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺(tái)，提高潔凈室等級。

層流式(Laminar):
層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率之過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于潔凈室等級需定較高之環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種:
(1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，-般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。
優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定
缺點(diǎn):建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。
(2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器夏蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì)影響基它工作區(qū)域。
優(yōu)點(diǎn):管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響，
缺點(diǎn):構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩。

亂流潔凈室的原理和特性
1、定義:亂流潔凈室的定義是氣流以不均勻速度、不平行流動(dòng)、伴有回流或渦流的潔凈室.
2、原理:亂流潔凈室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣，將污染空氣逐漸稀釋，來實(shí)現(xiàn)潔凈的(亂流潔凈室一般設(shè)計(jì)在干級以上至30萬級凈化級別)。
3、特性:亂流潔凈室是靠多次換氣來實(shí)現(xiàn)潔凈與潔凈級別，換氣次數(shù)決定定義中的凈化級別(換氣次數(shù)越多，凈化級別越高)
(1)、自凈時(shí)間:是指潔凈室按設(shè)計(jì)換氣次數(shù)開始送風(fēng)到潔凈室，室內(nèi)含塵濃度達(dá)到所設(shè)計(jì)的凈化級別的時(shí)間。 1,000級希望不超過20min(分鐘)(可取15min計(jì)算)10,000級希望不超過30min(分鐘)(可取25min計(jì)算)100,000級希望不超過40min(分鐘)(可取30min計(jì)算)
(2)、換氣次數(shù)(按上述自凈時(shí)間要求設(shè)計(jì))1,000級 43.5-55.3次/小時(shí)(規(guī)范:50次/小時(shí)) 10,000級 23.8-28.6次/小時(shí) (規(guī)范:25次/小時(shí)) 100,000級 14.4-19.2次/小時(shí) (規(guī)范:15次/小時(shí))

1、發(fā)塵量
潔凈室內(nèi)的發(fā)塵量，來自設(shè)備的可考慮通過局部排風(fēng)排除，不流入室內(nèi);產(chǎn)品，材料等在運(yùn)送過程中的發(fā)塵與人體發(fā)塵量相比，一般極小，可忽略;由于金屬半壁(彩鋼夾心板)的應(yīng)用來自建筑表面的發(fā)塵也很少，一般占10%以下，發(fā)塵主要來自人，占90%左右。在人的發(fā)塵量上，由于服裝材料和樣式的改進(jìn)，發(fā)塵量也不斷減少。
A、材質(zhì):棉質(zhì)發(fā)塵量大，以下依次為棉、的確良、去靜電純滌綸、尼龍。
B、樣式:大掛式發(fā)塵量大，上下分裝型次之，全置型少;
C、活動(dòng):動(dòng)作時(shí)的發(fā)塵量一般達(dá)到靜止時(shí)間3-7倍;
D、清洗:用容劑洗滌的發(fā)塵量降至用一般水清洗的五分之一，
室內(nèi)維護(hù)結(jié)構(gòu)表面發(fā)塵量，以地面為準(zhǔn)，大約相應(yīng)8平方米地面時(shí)的表面發(fā)塵量與一個(gè)靜止的人的發(fā)塵量相當(dāng)。

混合流潔凈室mixedairflowcleanroom
同時(shí)分別存在單向流和非單向流兩種氣流流型的潔凈室。
微粒particle
懸浮在空氣中的、固態(tài)的或液態(tài)的、活性的或非活性的物質(zhì)，其粒徑(對本標(biāo)準(zhǔn)而言)在10nm~100um的范圍。
氣溶膠aerosol
在空氣中懸浮的微小固體或液體微粒的分散系，

泄漏 leak
空氣過濾器系統(tǒng)因完整性不佳或有缺陷所引起的污染物透過，透過的污染物超過下風(fēng)向濃度預(yù)計(jì)值。
檢漏leak test
找到過濾器和機(jī)組部件泄漏的方法，即使用氣溶膠光度計(jì)或光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器以相互重疊的掃描區(qū)域掃描通過測試區(qū)。
過濾器安裝后泄漏測試installed filter leakage test為確認(rèn)過濾器安裝良好所進(jìn)行的測試。測試時(shí)要驗(yàn)證設(shè)施沒有旁路滲漏，過濾器及過濾器和安裝框架間的密封面沒有缺陷和泄漏。