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從除塵區(qū)域經(jīng)上盤(pán)12 個(gè)圓孔進(jìn)入排氣區(qū)域(排氣筒) 的棄塵氣流終由排氣口排出除塵器。上面主要論述了這種混合式除塵器的除塵機(jī)理和過(guò)程。值得提出的是，出于某些因素的考慮例如體積小、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、經(jīng)濟(jì)性等等，該除塵器略去了排塵區(qū)域。所以，應(yīng)該經(jīng)常性拆卸進(jìn)行清灰工作。下面給出這種除塵器的主要技術(shù)參數(shù)：圓柱容器高度H = 900mm; 內(nèi)徑= á 270mm; 進(jìn)氣口軸線偏離圓柱容器線e= 85mm; 進(jìn)氣口與排氣口通徑均為á 89mm。內(nèi)、外層金屬網(wǎng)均采用50 目的不銹鋼絲網(wǎng)。順便提一下，在很多情況下，用戶(hù)拆去全部金屬桿和金屬網(wǎng)，僅以離心力作為主要除塵機(jī)理便滿(mǎn)足了單晶爐真空系統(tǒng)的除塵要求。

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本文從晶體生長(zhǎng)物理基礎(chǔ)和流體力學(xué)的基本理論出發(fā),結(jié)合硅單晶制備過(guò)程中熱質(zhì)輸運(yùn)的分析,采用實(shí)驗(yàn)和數(shù)值分析相結(jié)合的方法,以大直徑硅單晶制備為主要研究對(duì)象,研究熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)、控制參數(shù)和外加磁場(chǎng)對(duì)大直徑硅單晶生長(zhǎng)的影響。通過(guò)數(shù)值分析的手段,研究了結(jié)構(gòu)參數(shù)和控制參數(shù)對(duì)晶體生長(zhǎng)特性的影響,確定了晶體制備的工藝條件;采用28inch和32inch熱場(chǎng)制備出400mm和45 分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，其次，國(guó)產(chǎn)設(shè)備相比進(jìn)口設(shè)備擁有明顯的成本優(yōu)勢(shì)，行業(yè)平均價(jià)格只有進(jìn)口設(shè)備的1/36；本生產(chǎn)的全自動(dòng)單晶硅生長(zhǎng)爐產(chǎn)品主要服務(wù)于行業(yè)排名前列的大型客戶(hù)，產(chǎn)品銷(xiāo)售價(jià)格雖然明顯其他國(guó)內(nèi)廠商，但售價(jià)仍然只有國(guó)外同類(lèi)設(shè)備的2/3 左右，因此，使用國(guó)產(chǎn)設(shè)備可以大大降低國(guó)內(nèi)硅片企業(yè)的設(shè)備投資成本。再次，國(guó)內(nèi)企業(yè)還擁有貼近市場(chǎng)、反應(yīng)迅速、服務(wù)便捷的明顯優(yōu)勢(shì)。憑借這些優(yōu)勢(shì)，國(guó)產(chǎn)光伏設(shè)備不僅占據(jù)了國(guó)內(nèi)絕大部分市場(chǎng)，還實(shí)現(xiàn)了批量出口亞洲市場(chǎng)，少量出口到歐美市場(chǎng)。