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(4) 電氣硬件設(shè)置、本系統(tǒng)的電氣柜內(nèi)布局采用模塊化集中管理，各個(gè)模塊間連接簡(jiǎn)單，單個(gè)模塊可以帶電維修，電機(jī)保護(hù)采用空氣開關(guān)和絲結(jié)合的方法便于操作和維護(hù)。同時(shí)主要的電氣點(diǎn)都能簡(jiǎn)單的在端子板上查出。整個(gè)機(jī)箱布局合理，簡(jiǎn)單。同時(shí)帶有雙色聲光報(bào)*燈進(jìn)行提示。

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原理編輯，把高純度的多晶硅原料放入高純石英坩堝，通過石墨加熱器產(chǎn)生的高溫將其熔化；然后，對(duì)熔化的硅液稍做降溫，使之產(chǎn)生一定的過冷度，再用一根固定在籽晶軸上的硅單晶體（稱作籽晶）插入熔體表面，待籽晶與熔體熔和后，慢慢向上拉籽晶，晶體便會(huì)在籽晶下端生長；接著，控制籽晶生長出一段長為100mm左右、直徑為3～5mm的細(xì)頸，用于消除高溫溶液對(duì)籽晶的強(qiáng)烈熱沖擊而產(chǎn)生的原子排列的位錯(cuò)，這個(gè)過程是引晶；隨后，放大晶體直徑到工藝要求的大小，一般為75～300mm，這個(gè)過程稱為放肩；接著，突然提高拉速進(jìn)行轉(zhuǎn)肩操作，使肩部近似直角；然后，進(jìn)入等徑工藝，通過控制熱場(chǎng)溫度和晶體提升速度，生長出一定直徑規(guī)格大小的單晶柱體；后，待大部分硅溶液都已經(jīng)完成結(jié)晶時(shí)，再將晶體逐漸縮小而形成一個(gè)尾形錐體，稱為收尾工藝。這樣一個(gè)單晶拉制過程基本完成，進(jìn)行一定的保溫冷卻后可以取出。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，電控系統(tǒng)采用微機(jī)控制，功能全、精度高、穩(wěn)定性好。且具有以下特點(diǎn)：溫度自動(dòng)控制系統(tǒng)\電機(jī)調(diào)速控制系統(tǒng)\單晶直徑自動(dòng)控制系統(tǒng)\單晶熔體自動(dòng)跟蹤系統(tǒng)\單晶重量及長度顯示功能\各拉晶有關(guān)參數(shù)包括籽晶軸，坩堝軸的轉(zhuǎn)動(dòng)速度，晶升和堝升速度，爐內(nèi)壓力，冷卻部位溫度等數(shù)據(jù)都采用數(shù)字顯示儀表指示，兩筆記錄儀記錄溫度和籽晶拉速，能穩(wěn)定的控制生長直徑5～8英寸，直徑均勻的無錯(cuò)位單晶。采用軟籽晶軸，具有特的晶體提升機(jī)構(gòu)。的磁流體密封技術(shù)，新型翻板閥結(jié)構(gòu)，拱形封頭式爐蓋結(jié)構(gòu)，考慮熱變形采用浮動(dòng)提升結(jié)構(gòu)，防止卡死現(xiàn)象。單晶提拉采用可承受150Kg不銹鋼絲軟軸，電控系統(tǒng)采用微機(jī)控制，紅外測(cè)徑技術(shù)，進(jìn)口電動(dòng)及驅(qū)動(dòng)器，保生長大扭矩高穩(wěn)定性。