探針是半導(dǎo)體試驗(yàn)所需的重要耗材。通過與試驗(yàn)機(jī)、分揀機(jī)、探針臺配合使用,可以篩選出產(chǎn)品設(shè)計缺陷和制造缺陷,用于設(shè)計驗(yàn)證、晶圓試驗(yàn)和成品試驗(yàn)。它在確保產(chǎn)品產(chǎn)量、控制成本、指導(dǎo)芯片設(shè)計和工藝改進(jìn)方面發(fā)揮著重要作用。
探針的要求
(1)質(zhì)量問題:在使用過程中應(yīng)定期進(jìn)行質(zhì)量檢查。探針的質(zhì)量差會導(dǎo)致測量誤差增大,嚴(yán)重時可能會損壞實(shí)驗(yàn)設(shè)備。
(2)加工工藝問題:在探針的制作過程中,要探針的形狀、尺寸的與穩(wěn)定。
(3)使用注意事項(xiàng):避免在測量過程中引入空氣,勿使用有陷進(jìn)、連續(xù)的探針以免擾動測量,對于使用多個探針進(jìn)行測量的情況要確保探針之間的長度和間距足夠。
(4)存儲和保養(yǎng)問題:盡可能地存儲環(huán)境無除塵、避光性好;探針表面不能有刮傷等損壞,使用前應(yīng)清洗干凈且消毒處理。
化學(xué)處理是提取金屬價值的關(guān)鍵步驟。一種常用的方法是浸出法。廢料顆粒被置于酸性溶液中,稀釋酸可以溶解鍍金探針中的金屬。然后,通過化學(xué)反應(yīng)和沉淀,將金屬分離出來。